中国国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营

　　中新网上海9月10日电 (记者 郑莹莹)上海微技术工业研究院“超越摩尔”研发中试线10日在上海嘉定启动运营，这是中国国内首条、全球领先、兼容CMOS的8英寸研发中试线，旨在进一步推动中国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展。

　　以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用。其中，超越摩尔技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。

　　2017中国(上海)国际传感器技术与应用展览会(简称“SENSOR CHINA”)暨2017全球传感器与物联网产业峰会当天于此间举行。

　　业界指出，中国“超越摩尔”领域，虽经历多年的理论研究与技术验证，积累了大量宝贵的知识和经验，但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，不同于CMOS的标准工艺，可以说对产线“严重依赖”。而中试就是必经阶段，是目前国内传感器厂家共同面临的挑战，据统计，科技成果经过中试，产业化成功率可达80%，未经中试成功率仅有30%。

　　基于此背景，上海微技术工业研究院实施超越摩尔计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。上海微技术工业研究院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的超越摩尔生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。

　　据介绍，目前，在“超越摩尔”领域，相比于业界普遍使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的SITRI的8英寸线是公认的领先技术。8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内第一条先进8英寸研发中试线，SITRI的8英寸研发中试线不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。(完)